MPŠ
MPŠ MP&Scaron MP&Scaron MP&Scaron Avtorji

Mednarodna
podiplomska šola
Jožefa Stefana

Jamova 39
SI-1000 Ljubljana
Slovenija

Tel: (01) 477 31 00
Faks: (01) 477 31 10
E-pošta: info@mps.si

Išči

Opis predmeta

Uvod v okolju prijazne plazemske tehnologije

Programi:

Ekotehnologije, 3. stopnja

Sodelavci:

prof. dr. Miran Mozetič

Cilji:

Študentje pridobijo osnovna znanja s področja plazemskih tehnologij ter dobijo pregled nad razpoložljivo opremo. Naučijo se kritično oceniti pomanjkljivosti klasičnih tehnoloških postopkov za obdelavo materialov predvsem z vidika kakovosti in ekološke (ne)ustreznosti tehnologij. Študenti pridobijo znanja, ki so potrebna za samostojno pripravo elaborata, v katerem ocenijo možnosti zamenjave obstoječih klasičnih tehnologij z novimi plazemskimi tehnologijami. Študentje se naučijo kritično oceniti prednosti in pomanjkljivosti plazemskih tehnologij, predvsem časovno, kadrovsko in finančno zahtevnost vpeljave novih tehnologij, ekološke prednosti novih tehnologij in kakovosti novih tehnologij.

Vsebina:

• Neravnovesno stanje plina in plinske razelektritve (enosmerna razelektritev, nizkofrekvenčna razelektritev, radiofrekvenčna razelektritev, mikrovalovna razelektritev, kombinirane razelektritve)
• Plazma (nastanek plazme, osnovne značilnosti in parametri plazme, ionske in reaktivne plazme, metode za plazemsko diagnostiko, plazemski reaktorji)
• Plazemske tehnologije (interakcija plazemskih radikalov s površinami trdnin, pregled vakuumskih plazemskih tehnologij, plazemska aktivacija in pasivizacija površin, plazemsko čiščenje, hladno upepeljevanje, plazemska funkcionalizacija in biokompatibilni materiali, selektivno plazemsko jedkanje, plazemska sterilizacija)
• Plazma v industriji (posnetek stanja in trendi, mikroelektronika, elektroindustrija, kemična industrija, avtomobilska industrija, biologija in medicina)
• Komercialni vidiki plazemskih tehnologij (ocena materialne, kadrovske in časovne zahtevnosti plazemskih tehnologij, plazemske tehnologije in ekologija, varno delo s plazemskimi napravami)

Temeljna literatura in viri:

• 1. M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, Principles of plasma discharges and materila processing, Wiley Interscience (2005).

• 2. R. Hippler, S. Pfan, M. Schmidt and K. H. Schoenbach, Low temperature plasma physics, Fundamental aspects and application, Wiley – WCH (2001).

• 3. J. R. Roth, Industrial plasma engineering, Vol. 2, Applications to non-thermal plasma processing, Inst. Of Physics Publishing (2001).

• 4. A. Ricard, Reactive plasmas, SFV, Paris (1996).

• 5. A. Grill, Cold plasma in material fabrication, IEEE Press (1993).

• 6. M. R. Wertheimer, L. Martinu and E. M. Liston, Plasma sources for polymer surface treatment, Handbook of thin film Process Technology, ed. by D.A.Glocker and S.I. Shah. Inst. Of Physics Publishing (1998).

Izbrane reference nosilca:

• 1. MOZETIČ, Miran, ZALAR, Anton. Recombination of neutral oxygen atoms on stainless steel surface. Appl. surf. sci.. [Print ed.], 2000, no. 158, str. 263-267.

• 2. MOZETIČ, Miran, ZALAR, Anton, PANJAN, Peter, BELE, Marjan, PEJOVNIK, Stane, GRMEK, Rok. A method of studying carbon particle distribution in pant films. Thin solid films. [Print ed.], 2000, vol. 376, str. 5-8.

• 3. ARČON, Iztok, MOZETIČ, Miran, KODRE, Alojz, JAGIELSKI, Jacek, TRAVERSE, Agnes. EXAFS study of NiAl in thin films. J. synchrotron radiat., 2001, vol. 8, str. 493-495.

• 4. BABIČ, Dušan, POBERAJ, Igor, MOZETIČ, Miran. Fiber optic catalytic probe for weakly ionized oxygen plasma characterization. Rev. sci. instrum., 2001, 72, str. 4110-4114.

• 5. 5. MOZETIČ, Miran. Discharge cleaning with hydrogen plasma. Vacuum. [Print ed.], May 2001, vol. 61, no. 2/4, str. 367-371.

• 6. VESEL, Alenka, MOZETIČ, Miran, ZALAR, Anton. Oxidation of AISI 304L stainless steel surface with atomic oxygen. Appl. surf. sci.. [Print ed.], 2002, vol. 200, str. 94-103.

• 7. POBERAJ, Igor, MOZETIČ, Miran, BABIČ, Dušan. Comparison of fiber optics and standard nickel catalytic probes for determination of neutral oxygen atoms concentration. J. vac. sci. technol., A, Vac. surf. films, 2002, 20, str. 189-193.

• 8. MOZETIČ, Miran, ZALAR, Anton, JAGIELSKI, Jacek, ARČON, Iztok, PANJAN, Peter. Characterization of NiAl thin layers by AES and EXAFS. Surf. interface anal., Aug. 2002, vol. 34, no. 1, str. 365-368.

• 9. MOZETIČ, Miran, ZALAR, Anton, CVELBAR, Uroš, POBERAJ, Igor. Heterogeneous recombination of neutral oxygen atoms on niobium surface. Appl. surf. sci.. [Print ed.], 2003, vol. 211, str. 96-101.

• 10. MOZETIČ, Miran, RICARD, Andre, BABIČ, Dušan, POBERAJ, Igor, LEVATON, Jacque, MONNA, Virginie, CVELBAR, Uroš. Comparison of NO titration and fiber optics catalytic probes for determinationof neutral oxygen atom concentration in plasmas and postglows. J. vac. sci. technol., A, Vac. surf. films, 2003, vol. 21, str. 369-374.

• 11. KUNAVER, Matjaž, MOZETIČ, Miran, KLANJŠEK GUNDE, Marta. Selective plasma etching of powder coatings. Thin solid films. [Print ed.], 2004, vol. 459, no. 1/2, str. 115-117.

• 12. MOZETIČ, Miran, CVELBAR, Uroš, VESEL, Alenka, RICARD, Andre, BABIČ, Dušan, POBERAJ, Igor. A diagnostic method for real-time measurements of the density of nitrogen atoms in the postglow of an Ar-N[sub]2 discharge using a catalytic probe. J. appl. physi., 2005, vol. 97, str. 103308-1-103308-7.

Načini preverjanja znanja:

• eksperimentalno delo
• seminar

Obveznosti študentov:

Seminar in ustni izpit, v katerem kandidat dokaže poznavanje in razumevanje temeljnih vsebin predmeta in predstavi njihovo vključevanje v svoj raziskovalni projekt pred komisijo, ki jo sestavljata nosilec predmeta ter mentor podiplomca.

Zunanje povezave: