Rezultati iskanja (1)
Analiza geometrijsko strukturiranih vzorcev z ionskim žarkom
V doktorskem delu je bil izdelan spektroskopski sistem za analizo plastovitih vzorcev z elastičnim povratnim sipanjem. Sistem predstavlja nadgradnjo eksperimentalne postaje žarkovne linije z ionskim žarkom v zraku na Mikroanalitskem centru Instituta Jožef Stefan. Najpomembnejši deli sistema so merilec povratno sipanih ionov, ki ga običajno imenujemo kar RBS detektor, sistem …