Glavna tema te disertacije je heterogena površinska rekombinacija nevtralnih kisikovih atomov. Plazmo smo opisali kot zanesljiv vir nevtralnih kisikovih atomov in opisali tudi obnašanje le-teh v nizkotlačnih plazemskih razelektritvah. Definirali smo dve ključni količini: gostoto nevtralnih atomov in rekombinacijski koeficient. Rekombinacijo smo pojasnili preko Eley-Rideal in Langmuir-Hinshelwood mehanizma. Na rekombinacijski …