Tanke plasti SrTiO3 (STO) se uporabljajo kot puferske plasti, ki omogočajo epitaksialno integracijo različnih funkcionalnih oksidov s silicijem. Kadar se za rast STO na Si uporablja pulzno lasersko nanašanje (PLD), se na spoju STO-Si tvori tanka amorfna plast, ki omejuje uporabo tovrstnih heterostruktur v določenih aplikacijah. V doktorskem delu so …