Doktorska disertacija
Modifikacija površin z ionskim curkom na nanonivoju
Ogledi: 5 | Prenosi: 7
Povzetek
Pod vplivom ionskega curka se spremeni morfologija in kemijska sestava površine.
Kinetični procesi, ki sodelujejo pri preoblikovanju površine, vodijo do formacije razli
čnih površinskih vzorcev. Glede na parametre ionskega snopa (energija, tok, vpadni
kot, vrsta ionov...) in samega substrata se lahko na površini pojavijo valovite strukture,
jedkalne figure z značilno obliko, piramide, povečana hrapavost ali pa glajenje površine.
Glavni namen moje doktorske disertacije je bil preučiti vpliv ionskega jedkanja z Ar+
ioni na treh različnih kovinskih substratih: tankih polikristaliničnih filmih, polikristalini
čni zlitini inmonokristalih različnih orientacij. Substrate semjedkala z ionskimsnopom
energij od 0.8 keV do 10 keV z različnimi časi izpostavitve.
Nastale strukture semkarakterizirala z več tehnikami: vrstična elektronskamikroskopija
z izvorom na poljsko emisijo (FE-SEM) je služila ogledu površine na večji skali, medtem
ko sem mikroskopijo na atomsko silo (AFM) uporabila za določitev parametrov hrapavosti
in periodičnosti površinskih struktur. Z metodo uklona povratno sipanih elektronov
(EBSD) pa sem lahko korelirala orientacijo posameznih kristalnih zrn in vzorce,
ki so se pojavili na njih.
Tanke filme sem pripravila na različne načine, s tem sem dobila plasti z različnimi
začetnimi parametri hrapavosti in velikosti posameznih zrn. Pri ionskem jedkanju pod
velikim vpadnim kotom se pojavijo valovite strukture, ki so povezane z začetnimi lastnostmi
filmov. Proces izbire valovne dolžine struktur je koreliran s povprečno velikostjo
zrn zaradi vpliva senčenja.
FeSiAl zlitina je bila uporabljena kotmodelni sistemza polikristalinične zlitine. Substrat
sem jedkala pri pravokotnem vpadu in pod večjim kotom. Strukture, ki so tako nastale,
so korelirane z individualno orientacijo posameznih zrn. Znotraj enega zrna se formira
karakterističen vzorec, ki sem ga lahko povezala s kristalno orientacijo. pri pravokotnem
vpadu se pojavijo jedkalne figure (jamice), ki s svojo obliko kažejo na orientacijo
zrna. Pri večjem vpadnem kotu se strukture lahko razdelijo na 4 različne morfologije,
vsaka pa je konsistentno prisotna za določeno orientacijo.