Rezultati iskanja (1)
Prostorske in energijske porazdelitve razpršenih atomov pri tehnikah za nanos tankih plasti
Razpršitveni koeficient, njegova prostorska porazdelitev, energijske porazdelitve in povprečne energije razpršenih delcev so pomembne za vse tehnike naprševanja, saj določajo mikrostrukturo in fizikalne lastnosti napršenih tankih plasti. Z uporabo simulacij SRIM (Stopping and Range of Ions in Matter) sem preučila vpliv različnih parametrov (površinske vezavne energije, energije vpadnih ionov, mase …