Pod vplivom ionskega curka se spremeni morfologija in kemijska sestava površine. Kinetični procesi, ki sodelujejo pri preoblikovanju površine, vodijo do formacije razli čnih površinskih vzorcev. Glede na parametre ionskega snopa (energija, tok, vpadni kot, vrsta ionov...) in samega substrata se lahko na površini pojavijo valovite strukture, jedkalne figure z značilno …