Razpršitveni koeficient, njegova prostorska porazdelitev, energijske porazdelitve in povprečne energije razpršenih delcev so pomembne za vse tehnike naprševanja, saj določajo mikrostrukturo in fizikalne lastnosti napršenih tankih plasti. Z uporabo simulacij SRIM (Stopping and Range of Ions in Matter) sem preučila vpliv različnih parametrov (površinske vezavne energije, energije vpadnih ionov, mase …
Predstavljeno je teoretsko ozadje vrstične tunelske mikroskopije in spektroskopije ter opisane so osnove različnih tehnik manipuliranja. Podane so konstrukcijske podrobnosti nizkotemperaturnega vrstičnega tunelskega mikroskopa za izvajanje eksperimentov s posameznimi atomi. Preučevane so bile površine monokristalov bakra s kristalografsko orientacijo (111) in (211). Demonstriran je proces izvlečenja atomov iz površine in …